Nâng tầm đo kiểm on-wafer với giải pháp tích hợp MSTech và Keysight

Posted on

Trong quy trình sản xuất bán dẫn, đo kiểm trên wafer (on-wafer test) là một trong những công đoạn quan trọng nhất nhằm đảm bảo chất lượng linh kiện trước khi chuyển sang các bước đóng gói và tích hợp hệ thống. Một tấm wafer bán dẫn có thể trải qua từ 400 đến 600 công đoạn, với tổng thời gian sản xuất kéo dài từ một đến hai tháng. Vì vậy, các phép đo điện – điện tử được triển khai tại những khâu then chốt không chỉ giúp kiểm soát chất lượng, mà còn giảm thiểu rủi ro lỗi và tối ưu đáng kể thời gian đưa sản phẩm ra thị trường.

Để đáp ứng những yêu cầu ngày càng khắt khe trong môi trường thử nghiệm hiện đại, giải pháp tích hợp giữa trạm đo trên wafer của MSTech và thiết bị đo lường chính xác của Keysight Technologies đang được nhiều phòng thí nghiệm và dây chuyền sản xuất bán dẫn lựa chọn.

Giải pháp tích hợp MST3000A và SMU PZ2100 của Keysight

Trọng tâm của hệ thống là trạm đo on-wafer MST3000A kết hợp cùng bộ nguồn đo lường chính xác PZ2100 của Keysight. Cấu hình này mang lại khả năng đo lường mạnh mẽ và linh hoạt, hỗ trợ điện áp lên đến 210 V, dòng DC 3,5 A và dòng xung lên tới 10,5 A, phù hợp cho nhiều nhóm thiết bị từ linh kiện bán dẫn, linh kiện công suất cho đến MEMS và cảm biến.

MST3000A đảm bảo khả năng thu thập dữ liệu chính xác, mức nhiễu thấp và độ lặp lại cao, đáp ứng tốt các bài toán đánh giá vật liệu bán dẫn, thử nghiệm hiệu suất MEMS và đo kiểm linh kiện trên wafer trước khi đóng gói. Thiết kế cơ khí ổn định và gọn gàng giúp hệ thống vận hành bền bỉ trong môi trường phòng sạch và dây chuyền R&D liên tục.

Tăng năng suất với phần mềm PathWave IV Curve Measurement

Hệ thống còn được tích hợp PathWave IV Curve Measurement của Keysight, cho phép thực hiện các phép đo đặc tính I-V một cách liền mạch, không cần lập trình. Nhờ giao diện trực quan và quy trình đo tự động hóa, phần mềm giúp kỹ sư:

  • Rút ngắn thời gian thiết lập phép đo

  • Giảm phụ thuộc vào kỹ năng lập trình

  • Tăng độ ổn định và tính lặp lại của kết quả

Đây là yếu tố đặc biệt quan trọng đối với các phòng thí nghiệm nghiên cứu và dây chuyền sản xuất cần đo kiểm số lượng lớn mẫu wafer trong thời gian ngắn.

Trải nghiệm thực tế tại Trung tâm Sáng tạo Bán dẫn Việt Nam

Hiện nay, hệ thống trạm đo kiểm MST4000A kết hợp hệ đo Keysight B1500A đã được triển khai và đặt tại Trung tâm Sáng tạo Bán dẫn Việt Nam (VSIC), địa chỉ Ngõ 7 Tôn Thất Thuyết, Cầu Giấy, Hà Nội.

Tại đây, các đơn vị nghiên cứu, doanh nghiệp và trường đại học có thể trải nghiệm trực tiếp hệ thống đo kiểm on-wafer, đánh giá khả năng đo lường thực tế cũng như hiệu quả tích hợp giữa phần cứng MSTech và nền tảng đo chính xác từ Keysight.

Tại Việt Nam, ASIC Technologies là đơn vị triển khai, tích hợp và hỗ trợ kỹ thuật trọn gói cho các giải pháp đo kiểm bán dẫn, từ phòng thí nghiệm nghiên cứu đến dây chuyền sản xuất.

Quý khách quan tâm đến giải pháp đo kiểm on-wafer, trạm đo MSTech, SMU PZ2100, hệ đo B1500A và phần mềm PathWave vui lòng liên hệ ASIC Technologies để được demo và trải nghiệm thực tế tại VSIC.

0989857399
EnglishVietnamese