Đặc điểm và chức năng chính
- Khả năng đo I-V của đo tại điểm, quét, lấy mẫu và đo xung trong phạm vi 0,1 fA – 1 A/0,5 0,5V – 200 V
- Đo điện dung AC ở nhiều tần số từ 1 kHz đến 5 MHz và khả năng đo điện áp bán tĩnh (QS-CV)
- Khả năng đo IV xung và IV cực nhanh với khoảng lấy mẫu tối thiểu 5 ns (200 MSa / s)
- Đưa điện áp cao lên đến 40 V để đánh giá điện môi vật liệu không bay hơi