Giải pháp đo kiểm tham số IC

Giới thiệu chung

  • Đo kiểm tham số tập trung vào đo lường các đặc tính kỹ thuật IV (Current-Voltage) và/hoặc CV (Capacitance – Voltage) của linh kiện bán dẫn.
  • SMU (Source / Measure Unit): Là thiết bị dùng để đo tham số. SMU cho phép tạo ra điện áp và dòng điện, đồng thời đo điện áp và/hoặc dòng điện

Yêu cầu đối với SMU đo tham số IC

Hoạt động trong cả 4 góc phần tư của mặt phẳng IV.

  • Độ phân giải đo dòng điện cực kỳ chính xác (Xuống phạm vi sub-femtoampe)
  • Đầu nối Trixial thay cho BNC tiêu chuẩn
  • Hỗ trợ cảm biến Kelvin (4-wire) để loại bỏ ảnh hưởng của sụt áp điện trở qua các dây nối máy đo với DUT

Thiết bị đo của Keysight

Giải pháp đo On-Wafer S-parameters cho RFIC